Исследования материалов: новая химия для ультратонких газовых сенсоров

Применение слоев оксида цинка в промышленности разнообразно и варьируется от защиты разлагаемых материалов до обнаружения токсичного газообразного оксида азота. Такие слои могут быть нанесены методом осаждения атомных слоев (ALD), в котором обычно используются химические соединения или просто прекурсоры, которые воспламеняются сразу же при контакте с воздухом, т.е.е. …